一、設(shè)計(jì)階段

 

　　功能分區(qū)

 

　　根據(jù)研發(fā)流程劃分區(qū)域，如潔凈區(qū)（光刻、刻蝕等）、檢測(cè)區(qū)、辦公區(qū)、設(shè)備區(qū)等。

 

　　明確人流、物流、氣流的走向，避免交叉污染。

 

　　潔凈等級(jí)

 

　　核心工藝區(qū)（如光刻區(qū)）潔凈等級(jí)通常為ISO4（Class10）或更高。

 

　　其他區(qū)域根據(jù)需求設(shè)定相應(yīng)潔凈等級(jí)（如ISO5、ISO6）。

 

　　靈活性設(shè)計(jì)

 

　　采用模塊化設(shè)計(jì)，便于未來(lái)設(shè)備升級(jí)或布局調(diào)整。

　　二、材料選擇

 

　　墻面與天花板

 

　　使用無(wú)縫隙、易清潔、耐腐蝕材料（如彩鋼板、不銹鋼板）。

 

　　接縫處密封處理，避免積塵。

 

　　地面

 

　　使用防靜電、耐磨、易清潔材料（如防靜電環(huán)氧地坪、PVC地板）。

 

　　地面設(shè)計(jì)排水坡度，防止積水。

 

　　門(mén)窗

 

　　采用氣密性好的鋁合金或不銹鋼材質(zhì)，門(mén)需安裝自動(dòng)閉門(mén)器。

 

　　三、空調(diào)與通風(fēng)系統(tǒng)

 

　　高效過(guò)濾

 

　　安裝高效過(guò)濾器（HEPA）或超高效過(guò)濾器（ULPA），確?？諝鉂崈舳?。

 

　　定期更換初效、中效過(guò)濾器。

 

　　溫濕度控制

 

　　根據(jù)工藝要求配置恒溫恒濕空調(diào)系統(tǒng)（如溫度22±1℃，濕度45±5%）。

 

　　實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)和調(diào)節(jié)溫濕度。

 

　　氣流組織

 

　　采用單向流設(shè)計(jì)（如垂直層流），確保氣流方向從潔凈區(qū)流向非潔凈區(qū)。

 

　　潔凈區(qū)保持正壓，防止外部污染進(jìn)入。

 

　　新風(fēng)與排風(fēng)

 

　　確保足夠的新風(fēng)量，維持正壓。

 

　　配置獨(dú)立排風(fēng)系統(tǒng)，處理有害氣體或化學(xué)品。

 

　　四、照明系統(tǒng)

 

　　無(wú)塵燈具

 

　　使用潔凈室專(zhuān)用燈具，避免積塵。

 

　　照度要求

 

　　核心工藝區(qū)照度需≥500lux，其他區(qū)域≥300lux。

 

　　五、設(shè)備與設(shè)施

 

　　研發(fā)設(shè)備

 

　　設(shè)備表面光滑、無(wú)死角，材質(zhì)耐腐蝕（如不銹鋼）。

 

　　設(shè)備布局便于操作、維護(hù)和清潔。

 

　　潔凈室家具

 

　　工作臺(tái)、貨架等采用不銹鋼材質(zhì)，減少積塵風(fēng)險(xiǎn)。

 

　　水電系統(tǒng)

 

　　純水系統(tǒng)采用316L不銹鋼管道，焊接處內(nèi)壁拋光處理。

 

　　電氣系統(tǒng)防爆、防潮，插座和開(kāi)關(guān)嵌入墻面。

　　六、防靜電措施

 

　　防靜電地板

 

　　鋪設(shè)防靜電地板，防止靜電吸附灰塵。

 

　　靜電消除設(shè)備

 

　　配置離子風(fēng)機(jī)或靜電消除器，減少靜電積累。

 

　　七、廢氣處理系統(tǒng)

 

　　有害氣體處理

 

　　配置活性炭吸附、催化燃燒或RTO（蓄熱式熱氧化）設(shè)備，處理VOCs排放。

 

　　排風(fēng)系統(tǒng)

 

　　獨(dú)立排風(fēng)系統(tǒng)，排風(fēng)口安裝過(guò)濾裝置。

 

　　八、施工管理

 

　　無(wú)塵施工

 

　　施工期間劃分潔凈施工區(qū)和普通施工區(qū)，工具、材料需清潔后進(jìn)入潔凈區(qū)。

 

　　隱蔽工程驗(yàn)收

 

　　管道、電氣線(xiàn)路等隱蔽工程需在封閉前驗(yàn)收，確保無(wú)死角、易清潔。

 

　　九、驗(yàn)證與測(cè)試

 

　　潔凈度測(cè)試

 

　　使用粒子計(jì)數(shù)器檢測(cè)懸浮粒子濃度，確保符合潔凈等級(jí)要求。

 

　　壓差測(cè)試

 

　　測(cè)試不同區(qū)域壓差，確保氣流方向正確。

 

　　風(fēng)速測(cè)試

 

　　測(cè)試送風(fēng)口風(fēng)速，確?？諝饬鲃?dòng)均勻。

　　十、運(yùn)行與維護(hù)

 

　　定期清潔

 

　　定期清潔實(shí)驗(yàn)室地面、墻面和設(shè)備，使用無(wú)塵室專(zhuān)用清潔工具。

 

　　設(shè)備維護(hù)

 

　　定期更換過(guò)濾器，檢查空調(diào)、排風(fēng)系統(tǒng)運(yùn)行狀態(tài)。

 

　　環(huán)境監(jiān)測(cè)

 

　　實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)溫濕度、壓差、潔凈度等參數(shù)，確保環(huán)境穩(wěn)定。

 

　　總結(jié)

 

　　芯片研發(fā)實(shí)驗(yàn)室裝修的核心是高潔凈度、高精度環(huán)境控制和防靜電。通過(guò)專(zhuān)業(yè)設(shè)計(jì)、嚴(yán)格施工和科學(xué)管理，打造符合研發(fā)需求的實(shí)驗(yàn)室環(huán)境，確保研發(fā)過(guò)程的穩(wěn)定性和可靠性。