本方案嚴(yán)格遵循ISO6級(jí)（千級(jí)）潔凈標(biāo)準(zhǔn)，采用模塊化潔凈室結(jié)構(gòu)，以灰白色調(diào)為主，搭配防靜電高架地板與金屬壁板，打造高精度半導(dǎo)體生產(chǎn)環(huán)境。

    圍護(hù)系統(tǒng)：采用50mm厚金屬夾芯彩鋼板墻體，表面覆有抗靜電涂層，接縫處采用圓弧過渡設(shè)計(jì)，避免積塵。天花板采用FFU（風(fēng)機(jī)過濾單元）滿布布局，配合高效HEPA過濾器，確保垂直層流氣流組織，潔凈度穩(wěn)定控制在≤1,000顆粒/立方米（≥0.5μm）。

    地面系統(tǒng)：鋪設(shè)3mm厚防靜電環(huán)氧樹脂自流平地坪，電阻值控制在10^6~10^9Ω，耐磨抗化學(xué)腐蝕，滿足設(shè)備移動(dòng)與靜電防護(hù)需求。

    智能化控制：集成環(huán)境監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，實(shí)時(shí)顯示溫濕度、壓差及粒子濃度數(shù)據(jù)，聯(lián)動(dòng)空調(diào)機(jī)組自動(dòng)調(diào)節(jié)，確保工藝環(huán)境穩(wěn)定。設(shè)備區(qū)采用不銹鋼圍擋，并設(shè)置黃光防眩照明，減少光學(xué)干擾。整體設(shè)計(jì)兼顧潔凈效能、耐久性與智能化管理，滿足半導(dǎo)體制造的高標(biāo)準(zhǔn)要求。